一种用于金刚石膜沉积工艺的基片超声预处理支架

发布于 2023-02-22 09:28

公开（公告）号: 

CN212451631U

申请号: 

CN202021282213.5

申请日: 

2020-07-02

发明人: 

郭胜惠

朱烨

杨黎

冯曙光

高冀芸

公开日期: 

2021-02-02

所属会员单位: 

昆明理工大学

专利类型: 

实用新型

法律状态: 

授权