一种全金属结构的固态装配型微质量传感器及其制备方法

发布于 2023-02-22 09:27

公开（公告）号: 

CN115014478A

申请号: 

CN202210743039.7

申请日: 

2022-06-27

发明人: 

楚合群

孙一帆

赵映景

李志

刑维嘉

欧阳菱静

尚彦彤

公开日期: 

2022-09-06

所属会员单位: 

昆明理工大学

专利类型: 

发明公布

法律状态: 

公布