一种湿氧提纯工业硅的顶吹装置

公开(公告)号: 
CN216038678U
申请号: 
CN202122681298.5
申请日: 
2021-11-04
发明人: 
伍继君
王启亮
马文会
徐敏
魏奎先
陈正杰
颜恒维
公开日期: 
2022-03-15
所属会员单位: 
昆明理工大学
专利类型: 
实用新型