一种对沉积金刚石膜的基底预处理时的控制压力装置

发布于 2023-02-22 09:27

公开（公告）号: 

CN113524001A

申请号: 

CN202110863732.3

申请日: 

2021-07-29

发明人: 

杨黎

李思佳

郭胜惠

冯曙光

高冀芸

胡途

公开日期: 

2021-10-22

所属会员单位: 

昆明理工大学

专利类型: 

发明公布

法律状态: 

实质审查