一种多晶硅还原炉布棒方法、环状布棒多晶硅及用途

发布于 2023-02-22 09:27

公开（公告）号: 

CN113073385A

申请号: 

CN202110348420.9

申请日: 

2021-03-31

发明人: 

侯彦青

王品杰

袁兴平

赵丹

赵璐

马文会

谢刚

尤祥

官鹏

杨青宏

公开日期: 

2021-07-06

所属会员单位: 

昆明理工大学

专利类型: 

发明公布

法律状态: 

实质审查