一种气固反应快速制备β-SiN的装置及其方法

公开(公告)号: 
CN113003549B
申请号: 
CN202110248782.0
申请日: 
2021-03-08
发明人: 
许磊
李航
张利波
韩朝辉
刘建华
夏洪应
唐治梦
郭利容
公开日期: 
2021-10-15
所属会员单位: 
昆明理工大学
专利类型: 
发明授权