一种硅片切割废料高效提纯的方法

发布于 2023-02-22 09:28

公开（公告）号: 

CN113044845A

申请号: 

CN202110244366.3

申请日: 

2021-03-05

发明人: 

魏奎先

杨时聪

马文会

邓小聪

公开日期: 

2021-06-29

所属会员单位: 

昆明理工大学

专利类型: 

发明公布

法律状态: 

实质审查