一种真空微波精炼工业硅制备6N多晶硅的方法及装置

发布于 2023-02-22 09:28

公开（公告）号: 

CN112624122B

申请号: 

CN202110039307.2

申请日: 

2021-01-12

发明人: 

戴永年

栗曼

公开日期: 

2022-06-14

所属会员单位: 

昆明理工大学

专利类型: 

发明授权

法律状态: 

授权