一种流化床干燥硅片切割废料的方法

发布于 2023-02-22 09:28

公开（公告）号: 

CN111829293A

申请号: 

CN202010729525.4

申请日: 

2020-07-27

发明人: 

魏奎先

杨时聪

马文会

公开日期: 

2020-10-27

所属会员单位: 

昆明理工大学

专利类型: 

发明公布

法律状态: 

实质审查