一种硅片切割废料顶吹精炼的方法

公开(公告)号: 
CN111807372B
申请号: 
CN202010705006.4
申请日: 
2020-07-21
发明人: 
马文会
杨时聪
魏奎先
李绍元
伍继君
万小涵
公开日期: 
2022-08-26
所属会员单位: 
昆明理工大学
专利类型: 
发明授权